Py-ReX
Pyrolyzer für hochtoxische oder elektrochemisch inaktive Gase
Das Pyrolzyer-Modul Py-ReX ist eine Erweiterung für das Gaswarngerät D-ReX PoS mit integrierter Pumpe zur extraktiven Gasmessung. In Kombination mit dem Py-ReX detektiert das D-ReX auch solche Gase, die für die direkte Messung zu toxisch oder chemisch zu inaktiv sind.
Gasmessung in Kombination mit einem Pyrolyzer
Der Einsatz eines Pyrolyzers in der Halbleiterproduktion erweitert die Möglichkeiten der Gasdetektion und ermöglicht es der Industrie, strenge Qualitätsstandards einzuhalten und Herstellungsprozesse zu optimieren.
In Prozessen, in denen Gase gemessen werden müssen, die entweder zu toxisch oder elektrochemisch zu inaktiv sind, um sie direkt zu messen, ist ein Pyrolyzer unerlässlich. Das Py-ReX wurde entwickelt, um in Kombination mit dem D-ReX PoS solche Gase im extraktiven Modus zu detektieren. Es wird zwischen Ansaugstelle und Gaswarngerät montiert. Das zu messende Gas wird per Pumpe durch den Pyrolyzer geleitet, bevor es nach der Pyrolyse zur eigentlichen Messung in die Sensorkammer des D-ReX gelangt.
Wie funktioniert Pyrolyse?
Ein Pyrolyzer zersetzt das ursprüngliche Gas (Zielgas) in ein messbares Gas (Messgas). Dieser Zwischenschritt ist bei einigen Gasen erforderlich, da sie andernfalls nicht nachgewiesen werden können. Aus der gemessenen Konzentration des Messgases lässt sich die Konzentration des Zielgases ableiten.
Das Py-ReX ist ein Filament-Pyrolyzer. Ein in einem Quartzglasröhrchen befindlicher Glühfaden (Filament) wird auf eine bestimmte Temperatur erhitzt, die exakt auf das Zielgas justiert ist. Das Zielgas wird bei Kontakt mit dem Filament in das Messgas zersetzt und kann anschließend vom elektrochemischen Smart-Sensor im Gasmessgerät detektiert werden.
Welche Gase können detektiert werden?
Das Py-ReX ist auf die Messung der hauptsächlich fluorbasierten Gase, die bei der Herstellung von Halbleitern und in anderen industriellen Prozessen zur Inertisierung verwendet werden, spezialisiert. Doch natürlich kann es auch andere inerte, nicht-fluorbasierte Gase, wie 1,2-Dichlorethen detektieren und ist somit für eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten geeignet.
Eine Übersicht der Gase, für die wir das Py-ReX anbieten können, findet sich weiter unten auf dieser Seite. Im engen Austausch mit unseren Kunden arbeiten wir ständig daran, immer weitere, neue Gase detektieren zu können. Bitten kontaktieren Sie uns deshalb auch dann, wenn Ihr Gas nicht in unserer Übersicht aufgeführt ist.
Das Wichtigste auf einen Blick:
Ausstattung und Merkmale:
- Pyrolyseprinzip: Filament-Pyrolyse
- Kommunikation: 4-20 mA
- 2 farbige Status-LEDs
- Gehäuse zur Tragschienenmontage (TS35)
- Maximale Schlauchlänge: 30 m
- Heizstromüberwachung am D-ReX PoS
- Optional: Line Integrity Monitoring am D-ReX PoS
Messbare Gase
| C2H2Cl2 | 1,2-Dichlorethen (DCE) |
| C4F6 | Hexafluorbutadien |
| C5F8 | Octafluorcyclopenten |
| CH3F | Methylfluorid |
| NF3 | Stickstofftrifluorid |
| SF6 | Schwefelhexafluorid |