Py-ReX
Pyrolyzer voor zeer giftige of elektrochemisch inactieve gassen
De Py-ReX pyrolyzermodule is een add-on voor de D-ReX PoS gasdetector, die zijn geïntegreerde pomp gebruikt voor extractieve gasdetectie. In combinatie met de Py-ReX kan de D-ReX gassen detecteren die te toxisch of te chemisch inactief zijn om rechtstreeks te worden gemeten.
Gasdetectie met behulp van een pyrolyzer
Het gebruik van een pyrolyzer breidt de mogelijkheden van gasdetectie bij de productie van halfgeleiders uit en vergemakkelijkt het voldoen aan strenge kwaliteitsnormen en het optimaliseren van productieprocessen.
Voor elk proces waarbij gassen gemeten moeten worden die ofwel te giftig ofwel te elektrochemisch inactief zijn om direct gemeten te worden, is een pyrolyzer essentieel. Voortbouwend op de mogelijkheden van de D-ReX PoS werd de Py-ReX ontwikkeld om dergelijke gassen te detecteren in extractiemodus. Hij wordt gemonteerd tussen het bemonsteringspunt en de gasdetector. Het te meten gas wordt dan met behulp van een pomp door de pyrolyse geleid voordat het de sensor in de D-ReX bereikt, waar het na voltooiing van de pyrolyse wordt gemeten.
Hoe werkt pyrolyse?
Een pyrolyseapparaat lost het oorspronkelijke gas (doelgas) op in een gas dat kan worden gemeten (meetgas). Deze stap is noodzakelijk voor het meten van sommige gassen, omdat ze zonder deze stap niet kunnen worden gedetecteerd. De concentratie van het gemeten gas kan dan worden gebruikt om de concentratie van het doelgas te berekenen.
De Py-ReX is een pyrolyse met gloeidraad. Een gloeidraad in een kwartsglasbuis wordt verwarmd tot een specifieke temperatuur die nauwkeurig is afgestemd op het doelgas. Bij contact met de gloeidraad valt het doelgas uiteen in het gemeten gas en kan vervolgens worden gedetecteerd door de elektrochemische slimme sensor in de gasdetector.
Welke gassen kunnen worden gedetecteerd?
De Py-ReX is gespecialiseerd in het meten van voornamelijk op fluor gebaseerde gassen die worden gebruikt als inert gas bij de productie van halfgeleiders en in andere industriële processen. Hij kan echter ook andere inerte gassen detecteren die niet op fluor gebaseerd zijn, zoals 1,2-dichlooretheen, en is daarom geschikt voor een groot aantal toepassingen.
Onderaan deze pagina vindt u een overzicht van de gassen waarvoor wij de Py-ReX aanbieden. In nauwe samenwerking met onze klanten werken we voortdurend aan verbeteringen om nog meer gassen te kunnen detecteren. Neem daarom contact met ons op als het gas dat u wilt detecteren nog niet in ons overzicht staat.
In het kort:
Apparatuur en functies:
- Pyrolysemethode: Pyrolyse van filamenten
- Communicatie: 4-20 mA
- 2 gekleurde status-LED's
- Behuizing voor montage op DIN-rail (TS35)
- Maximale buislengte: 30 m
- Verwarmingsstroombewaking op de D-ReX PoS
- Optioneel: Lijnintegriteitsbewaking op de D-ReX PoS
Gemeten gassen
| C2H2Cl2 | 1,2-Dichlooretheen (DCE) |
| C4F6 | Hexafluorobutadieen |
| C5F8 | Octafluorcyclopenteen |
| CH3F | Methylfluoride |
| NF3 | Stikstoftrifluoride |
| SF6 | Zwavelhexafluoride |