Py-ReX
Pyrolyseur pour les gaz hautement toxiques ou électrochimiquement inactifs
Le module pyrolyseur Py-ReX est un complément au détecteur de gaz D-ReX PoS, qui utilise sa pompe intégrée pour la détection de gaz extractifs. Utilisé en combinaison avec le Py-ReX, le D-ReX est capable de détecter des gaz trop toxiques ou trop chimiquement inactifs pour être mesurés directement.
Détection de gaz à l'aide d'un pyrolyseur
L'utilisation d'un pyrolyseur élargit les possibilités de détection des gaz dans la fabrication des semi-conducteurs et facilite le respect de normes de qualité strictes tout en optimisant les processus de fabrication.
Pour tout processus nécessitant la mesure de gaz qui sont soit trop toxiques, soit trop inactifs sur le plan électrochimique pour être mesurés directement, un pyrolyseur est essentiel. S'appuyant sur les capacités du D-ReX PoS, le Py-ReX a été développé pour détecter ces gaz en mode extraction. Il est monté entre le point d'échantillonnage et le détecteur de gaz. Le gaz à mesurer est alors guidé à travers le pyrolyseur à l'aide d'une pompe, avant d'atteindre le capteur à l'intérieur du D-ReX, où il est mesuré après la fin de la pyrolyse.
Comment fonctionne la pyrolyse ?
Un pyrolyseur dissout le gaz d'origine (gaz cible) en un gaz qui peut être mesuré (gaz mesuré). Cette étape est nécessaire pour mesurer certains gaz, car ils ne peuvent pas être détectés sans elle. La concentration du gaz mesuré peut ensuite être utilisée pour calculer la concentration du gaz cible.
Le Py-ReX est un pyrolyseur à filament. Un filament placé dans un tube en verre de quartz est chauffé à une température spécifique qui est précisément ajustée au gaz cible. Au contact du filament, le gaz cible se décompose en gaz mesuré et peut alors être détecté par le capteur électrochimique intelligent du détecteur de gaz.
Quels sont les gaz qui peuvent être détectés ?
De nombreux gaz inertes utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs et dans les processus industriels sont à base de fluor (comme le fluorure d'azote). Cependant, il existe également des gaz inertes tels que le 1,2-dichloroéthène, qui ne sont pas à base de fluor et qui doivent être mesurés.
Un aperçu des gaz pour lesquels nous proposons le Py-ReX se trouve au bas de cette page. En étroite collaboration avec nos clients, nous travaillons constamment à l'amélioration de nos produits afin de pouvoir détecter encore plus de gaz. N'hésitez donc pas à nous contacter si le gaz que vous souhaitez détecter n'est pas encore répertorié dans notre aperçu.
En bref:
Équipement et caractéristiques :
- Méthode de pyrolyse : Pyrolyse filamentaire
- Communication : 4-20 mA
- 2 LED d'état colorées
- Boîtier pour montage sur rail DIN (TS35)
- Longueur maximale du tube : 30 m
- Surveillance du courant de chauffage sur le D-ReX PoS
- En option : Surveillance de l'intégrité de la ligne sur le D-ReX PoS
Gaz détectables
| C2H2Cl2 | 1,2-Dichloroéthène (DCE) |
| C4F6 | Hexafluorobutadiène |
| C5F8 | Octafluorcyclopentène |
| CH3F | Fluorure de méthyle |
| NF3 | Trifluorure d'azote |
| SF6 | Hexafluorure de soufre |