Py-ReX
Pirolizer dla pomiaru wysoce toksycznych lub elektrochemicznie nieaktywnych gazów
Moduł pyrolizera Py-ReX jest dodatkiem do detektora gazu D-ReX PoS, który wykorzystuje zintegrowaną pompę do wykrywania gazów ekstrakcyjnych. W połączeniu z Py-ReX, D-ReX jest w stanie wykrywać gazy, które są zbyt toksyczne lub zbyt nieaktywne chemicznie, aby mogły być mierzone bezpośrednio.
Wykrywanie gazu przy użyciu pirolizera
Zastosowanie pirolizera rozszerza możliwości wykrywania gazów w produkcji półprzewodników i ułatwia zachowanie zgodności z surowymi normami jakości, a także optymalizację procesów produkcyjnych.
W przypadku każdego procesu wymagającego pomiaru gazów, które są albo zbyt toksyczne, albo zbyt nieaktywne elektrochemicznie, aby mogły być mierzone bezpośrednio, niezbędne jest wykorzystanie pirolizera. Bazując na możliwościach D-ReX PoS, Py-ReX został opracowany do wykrywania takich gazów w trybie ekstrakcji. Jest on montowany między punktem próbkowania a detektorem gazu. Gaz, który należy zmierzyć, jest następnie kierowany przez pirolizer za pomocą pompy, zanim dotrze do czujnika wewnątrz D-ReX, gdzie jest mierzony po zakończeniu pirolizy.
Jak działa piroliza?
Pirolizer rozpuszcza oryginalny gaz (gaz docelowy) na taki, który można zmierzyć (gaz mierzony). Ten etap jest niezbędny do pomiaru niektórych gazów, ponieważ bez niego nie można ich wykryć. Stężenie mierzonego gazu można następnie wykorzystać do obliczenia stężenia gazu docelowego.
Py-ReX jest pirolizerem z żarnikiem. Żarnik w rurce ze szkła kwarcowego jest podgrzewany do określonej temperatury, która jest precyzyjnie dostosowana do gazu docelowego. W kontakcie z żarnikiem gaz docelowy rozkłada się na gaz mierzony, a następnie może zostać wykryty przez inteligentny czujnik elektrochemiczny w detektorze gazu.
Jakie gazy można wykrywać?
Wiele gazów obojętnych stosowanych w przemyśle półprzewodnikowym, a także w procesach przemysłowych, jest opartych na fluorze (np. fluorek azotu). Istnieją jednak również gazy obojętne, takie jak 1,2-dichloroeten, które nie są oparte na fluorze i muszą być mierzone.
Przegląd gazów, dla których oferujemy Py-ReX, można znaleźć na dole tej strony. W ścisłej współpracy z naszymi klientami nieustannie pracujemy nad udoskonaleniami, aby móc wykrywać jeszcze więcej gazów. Dlatego prosimy o kontakt, jeśli gaz, który chcesz wykryć, nie jest jeszcze wymieniony w naszym przeglądzie.
W skrócie:
Wyposażenie i funkcje:
- Metoda pirolizy: Piroliza filamentowa
- Komunikacja: 4-20 mA
- 2 kolorowe diody LED stanu
- Obudowa do montażu na szynie DIN (TS35)
- Maksymalna długość węża: 30 m
- Monitorowanie prądu grzałki poprzez D-ReX PoS
- Opcjonalnie: Monitorowanie integralności linii na D-ReX PoS
Mierzone gazy
| C2H2Cl2 | 1,2-Dichloroeten (DCE) |
| C4F6 | Heksafluorobutadien |
| C5F8 | Oktafluorcyklopenten |
| CH3F | Fluorek metylu |
| NF3 | Trójfluorek azotu |
| SF6 | Sześciofluorek siarki |