GfG auf der SEMICON Europa 2026 – Gas Detection für die Halbleiterindustrie
Vom 10. bis 13. November 2026 trifft sich die europäische Halbleiterindustrie auf der SEMICON Europa in München. GfG präsentiert in Halle C1 / Stand C1264 Gas-Monitoring-Lösungen für die zuverlässige Detektion toxischer, korrosiver und brennbarer Prozessgase in der Halbleiterfertigung.
Im Mittelpunkt steht die D-ReX Produktfamilie für unterschiedliche Messaufgaben in Fab und Subfab – von der Überwachung einzelner Prozesspunkte bis zur Integration in übergeordnete Gas Monitoring Systeme.
[>> Jetzt Termin auf der SEMICON Europa vereinbaren <<]
Gas Monitoring für Semiconductor Fabs
In der Halbleiterfertigung kommen zahlreiche hochreaktive, toxische und brennbare Prozessgase zum Einsatz. Bereits geringe Leckagen können Risiken für Mitarbeitende, Produktionsanlagen und die Verfügbarkeit von Fertigungsprozessen darstellen.
GfG entwickelt Gasdetektionslösungen speziell für die Anforderungen der Halbleiterindustrie. Die D-ReX Produktfamilie ermöglicht unterschiedliche Installationskonzepte für die Überwachung von Prozessgasen und unterstützt eine Vielzahl relevanter Zielgase – darunter beispielsweise HF, HCl, Cl₂, NH₃, PH₃, AsH₃, B₂H₆ und SiH₄.
Für Gase, die nicht direkt mit einem geeigneten Sensor detektiert werden können, ergänzt Py-ReX das System um eine vorgelagerte Pyrolyse.
Von Point-of-Use bis zur Systemintegration
Gas Monitoring in Semiconductor Fabs stellt je nach Messstelle unterschiedliche Anforderungen. Deshalb umfasst die D-ReX Familie verschiedene Konzepte für Point-of-Use-, Remote- und extraktive Messungen.
Neben der zuverlässigen Gasdetektion spielen dabei insbesondere Systemintegration, Wartungsaufwand und Anlagenverfügbarkeit eine zentrale Rolle. Schnittstellen wie Modbus RTU/TCP, 4–20 mA und Power over Ethernet ermöglichen die Integration in unterschiedliche Anlagen- und Monitoringkonzepte.
Auch für bestehende Installationen bietet GfG Lösungen für Retrofit- und Migrationsprojekte.
Besprechen Sie Ihre Gas-Monitoring-Anwendung mit uns
Sie planen eine neue Gas-Monitoring-Anwendung, suchen eine Lösung für ein bestimmtes Prozessgas oder möchten ein bestehendes System modernisieren?
Sprechen Sie auf der SEMICON Europa mit unseren Semiconductor-Experten über Ihre Anforderungen – von der Sensorik und Messstelle bis zur Systemintegration.
Veranstaltungsort:
Messe München
Am Messesee 2
81829 München
Hier finden Sie uns:
Halle C1 / Stand C1264
Datum:
10.–13. November 2026
Die SEMICON Europa findet 2026 parallel zur electronica statt.
Zur Webseite der SEMICON Europa
Termin auf der SEMICON Europa vereinbaren
Sie möchten Ihre Anwendung vorab mit uns besprechen? Vereinbaren Sie einen persönlichen Termin mit unserem Team auf der SEMICON Europa.
[>> Termin auf der SEMICON Europa vereinbaren <<]
Weitere Veranstaltungen
Sie können uns nicht in München besuchen? Treffen Sie GfG auf weiteren internationalen Fachmessen und Veranstaltungen.
