D-ReX PoS² - Gaswarngerät für die realen Anforderungen der Halbleiterindustrie
Basierend auf der bewährten D-ReX-Plattform vereint das D-ReX PoS² ein kompaktes Design, hohe Messpräzision und maximale Servicefreundlichkeit. Gezielt für die Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt, ermöglicht es eine zuverlässige Gasüberwachung selbst in Bereichen mit stark begrenztem Raumangebot. Durch die integrierte Pumpe wird das Messgas am Punkt der Entnahme (Point of Sampling, PoS) sicher angesaugt – über Entfernungen von bis zu 30 Metern vom Gerät, beispielsweise aus Rohrleitungen, Gasverteilungsanlagen, Gaslagern, Scrubbern oder Reinräumen. Für Wartungsarbeiten lässt sich die Gerätefront werkzeuglos aufklappen, wodurch Sensor und Pumpenmechanik schnell erreichbar sind. Die Integration in übergeordnete Systeme erfolgt über Power over Ethernet (PoE) oder über die Industriestandards 4–20 mA und Modbus (RS-485).
Produktvorteile
Einfache und schnelle Wartung
- Zum Austausch des Sensors oder der Pumpe sind keine Werkzeuge erforderlich
- Einfache Installation und schneller Geräteaustausch
- Platzsparendes Design (Wandmontage oder Hutschiene)
Niedrige Betriebskosten
- Einfache Wartung spart Zeit und Geld
- Es müssen nur verschlissene Teile (z. B. Sensorkartusche, Pumpenmechanismus) ausgetauscht werden
- Power over Ethernet (PoE) reduziert den Verkabelungsaufwand (Datenkommunikation und Stromversorgung über Ethernet)
Funktionen
- Optionales Line Integrity Monitoring
- Großes 2,4-Zoll-Farbdisplay
- Drei interne Relais (frei programmierbar)
- Flexible Kommunikationsschnittstellen: 4–20 mA, Modbus (RS-485) oder Ethernet
Entwickelt für die Anforderungen in der Halbleiterfertigung
Das D-ReX PoS² ist ein platz- und kostensparendes Gasmessgerät für ein breites Anwendungsspektrum. Das Messgas wird von der integrierten Pumpe angesaugt, und der smarte Sensor erfasst gefährliche Gaskonzentrationen – sowohl Momentanwerte als auch Langzeitmittelwerte. Für Gase, die einen Pyrolysator erfordern, bieten wir das zusätzliche Py-ReX-Modul an.
Smarte Sensoren und einfache Wartung
Es stehen elektrochemische, katalytische, Infrarot- und PID-Sensoren für mehr als 60 toxische, korrosive und brennbare Gase sowie für Sauerstoff zur Verfügung. Die Sensoren sind vorkonfiguriert, und die Sensorkassetten lassen sich nach dem Öffnen der Frontblende schnell und einfach austauschen – ganz ohne Werkzeug. Es werden nur die tatsächlichen Verschleißteile wie Sensoren und der Pumpenmechanismus ausgetauscht, während die Sensorkassette und die Pumpenelektronik wiederverwendet werden. Dies minimiert sowohl die Kosten als auch den Aufwand für den Service.
Flexible Installation
Ob an der Wand oder auf einer DIN-Hutschiene montiert – das D-ReX PoS² passt sich Ihren Installationsanforderungen an. Beim Geräteaustausch müssen lediglich zwei Clips gelöst werden; das Anschlussterminal mit Verkabelung und Schläuchen bleibt an Ort und Stelle. Die Geräteelektronik lässt sich ebenso schnell und einfach austauschen wie die Sensorkassette.
Klar verständliche Informationen
Das große TFT-Farbdisplay zeigt alle benötigten Informationen zum überwachten Gas, der gemessenen Konzentration, zum Zustand des Gaswarngeräts und etwaigen Störungen als Klartext, damit sie sofort erfasst werden können.
Moderne Kommunikation
Für modernste Gerätekonnektivität verfügt das D-ReX über eine PoE-fähige LAN-Schnittstelle mit 10/100 Mbit/s für schnelle und sichere Datenübertragung und die Möglichkeit, das D-ReX aus dem Netzwerk und dem Internet heraus zu adressieren. Alternativ sind wahlweise auch eine analoge Einbindung in eine 4-20 mA-Infrastruktur oder digitale Kommunikation über den bewährte RS-485-Industriestandard (Modbus) möglich. Für die Umsetzung von Sicherheitsmaßnahmen hat das D-ReX PoS² drei interne Relais mit je einem Wechsler zur freien Programmierung. So lassen sich beispielsweise externe Alarmgeber ansteuern oder Ventile schließen.
Detektierbare Prozessgase der Halbleiterindustrie
Das D-ReX PoS² überwacht eine große Bandbreite toxischer, korrosiver, pyrophorer und weiterer Spezialgase entlang des gesamten Halbleiterfertigungsprozesses.
Typische Prozessgase
Ammoniak (NH₃), Chlorwasserstoff (HCl), Fluorwasserstoff (HF), Wasserstoff (H₂), Silan (SiH₄), Dichlorsilan (DCS), Arsin (AsH₃), Phosphin (PH₃), Diboran (B₂H₆), Selenwasserstoff (H₂Se), Germaniumwasserstoff (GeH₄), Chlortrifluorid (ClF₃), Fluor (F₂), Ozon (O₃), Bromwasserstoff (HBr), Cyanwasserstoff (HCN), Hexamethyldisilazan (HMDS) und Tetraethylorthosilikat (TEOS)
Zusätzliche Gase mit dem Py-ReX-Pyrolyzer
Stickstofftrifluorid (NF₃), Methylfluorid (CH₃F), 1,2-Dichlorethan (EDC) und trans-1,2-Dichlorethylen (DCE)
Die vollständige Gasliste mit allen verfügbaren Messbereichen finden Sie in der D-ReX-PoS²-Broschüre. Weitere Gase sind auf Anfrage erhältlich.