D-ReX PoS² - Détecteur de gaz adapté aux exigences concrètes de l'industrie des semi-conducteurs
S'appuyant sur la plateforme D-ReX qui a fait ses preuves, le D-ReX PoS² allie un design compact, une grande précision de mesure et une facilité d'entretien maximale. Spécialement conçu pour répondre aux exigences de la fabrication de semi-conducteurs, il permet une surveillance fiable des gaz, même dans des espaces très restreints. Grâce à la pompe intégrée, le gaz à mesurer est aspiré en toute sécurité au point de prélèvement (Point of Sampling, PoS) – sur des distances pouvant atteindre 30 mètres depuis l'appareil, par exemple à partir de canalisations, d'installations de distribution de gaz, de réservoirs de gaz, de laveurs ou de salles blanches. Pour les opérations de maintenance, la face avant de l’appareil s’ouvre sans outil, ce qui permet d’accéder rapidement au capteur et au mécanisme de la pompe. L’intégration dans des systèmes de niveau supérieur s’effectue via Power over Ethernet (PoE) ou via les normes industrielles 4–20 mA et Modbus (RS-485).
Avantages du produit
Entretien simple et rapide
- Aucun outil n'est nécessaire pour remplacer le capteur ou la pompe
- Installation simple et remplacement rapide des appareils
- Conception peu encombrante (montage mural ou sur rail DIN)
Faibles coûts d'exploitation
- Un entretien facile permet d'économiser du temps et de l'argent
- Seules les pièces usées (par exemple, la cartouche du capteur, le mécanisme de la pompe) doivent être remplacées
- La technologie Power over Ethernet (PoE) réduit les besoins en câblage (communication de données et alimentation électrique via Ethernet)
Fonctions
- Surveillance de l'intégrité de la ligne (en option)
- Grand écran couleur de 2,4 pouces
- Trois relais internes (librement programmables)
- Interfaces de communication flexibles : 4–20 mA, Modbus (RS-485) ou Ethernet
Conçu pour répondre aux exigences de la fabrication de semi-conducteurs
Le D-ReX PoS² est un détecteur de gaz peu encombrant et économique destiné à un large éventail d'applications.Le gaz à analyser est aspiré par la pompe intégrée, et le capteur intelligent détecte les concentrations de gaz dangereuses, qu'il s'agisse de valeurs instantanées ou de moyennes à long terme. Pour les gaz nécessitant un pyrolyseur, nous proposons le module Py-ReX en option.
Capteurs intelligents et entretien facile
Des capteurs électrochimiques, catalytiques, infrarouges et PID sont disponibles pour plus de 60 gaz toxiques, corrosifs et inflammables, ainsi que pour l'oxygène.Les capteurs sont préconfigurés et les cassettes de capteurs peuvent être remplacées rapidement et facilement après ouverture du panneau avant, sans aucun outil. Seules les pièces d'usure, telles que les capteurs et le mécanisme de la pompe, sont remplacées, tandis que la cassette de capteurs et l'électronique de la pompe sont réutilisées. Cela permet de réduire à la fois les coûts et les efforts liés à l'entretien.
Installation flexible
Qu'il soit fixé au mur ou monté sur un rail DIN, le D-ReX PoS² s'adapte à vos besoins d'installation. Pour remplacer l'appareil, il suffit de détacher deux clips ; le bornier de raccordement, avec son câblage et ses flexibles, reste en place. L'électronique de l'appareil se remplace aussi rapidement et facilement que la cassette du capteur.
Des informations claires et compréhensibles
Le grand écran couleur TFT affiche toutes les informations nécessaires concernant le gaz surveillé, la concentration mesurée, l'état du détecteur de gaz et les éventuels dysfonctionnements sous forme de texte en clair, afin qu'elles puissent être comprises immédiatement.
Communication moderne
Pour une connectivité de pointe, le D-ReX dispose d'une interface LAN compatible PoE à 10/100 Mbit/s, garantissant un transfert de données rapide et sécurisé, ainsi que la possibilité d'accéder au D-ReX depuis le réseau et Internet. Il est également possible d’opter pour une intégration analogique dans une infrastructure 4-20 mA ou pour une communication numérique via la norme industrielle RS-485 (Modbus), qui a fait ses preuves. Pour la mise en œuvre de mesures de sécurité, le D-ReX PoS² dispose de trois relais internes, chacun doté d’un contact inverseur librement programmable. Cela permet, par exemple, de commander des dispositifs d’alarme externes ou de fermer des vannes.
Gaz de procédé détectables dans l'industrie des semi-conducteurs
Le D-ReX PoS² surveille un large éventail de gaz toxiques, corrosifs, pyrophoriques et autres gaz spéciaux tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs.
Gaz de procédé courants
Ammoniac (NH₃), chlorure d'hydrogène (HCl), fluorure d'hydrogène (HF), hydrogène (H₂), silane (SiH₄), dichlorosilane (DCS), arsine (AsH₃), phosphine (PH₃), diborane (B₂H₆), hydrure de sélénium (H₂Se), hydrure de germanium (GeH₄), trifluorure de chlore (ClF₃), fluor (F₂), ozone (O₃), bromure d'hydrogène (HBr), cyanure d'hydrogène (HCN), l'hexaméthyldisilazane (HMDS) et l'orthosilicate de tétraéthyle (TEOS)
Gaz supplémentaires avec le pyrolyseur Py-ReX
Stickstofftrifluorid (NF₃), Methylfluorid (CH₃F), 1,2-Dichlorethan (EDC) und trans-1,2-Dichlorethylen (DCE)
Vous trouverez la liste complète des gaz avec toutes les plages de mesure disponibles dans la brochure D-ReX-PoS². D'autres gaz sont disponibles sur demande.