GfG auf der SEMICON Taiwan 2026 – Gas Monitoring für die Halbleiterfertigung
Vom 2. bis 4. September 2026 trifft sich die internationale Halbleiterindustrie auf der SEMICON Taiwan in Taipeh. GfG präsentiert dort Gaswarnlösungen für die zuverlässige Überwachung toxischer, korrosiver und brennbarer Prozessgase in Fab und Subfab.
Besuchen Sie uns am Stand T9021 und lernen Sie die D-ReX Produktfamilie für anspruchsvolle Gas-Monitoring-Anwendungen in der Halbleiterfertigung kennen.
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Prozessgase in Fab und Subfab zuverlässig überwachen
In der Halbleiterfertigung kommen zahlreiche gefährliche Prozessgase zum Einsatz. Bereits geringe Konzentrationen können eine Gefahr für Mitarbeitende und Anlagen darstellen. Gleichzeitig unterscheiden sich die Anforderungen an die Gasdetektion abhängig von Zielgas, Prozess und Messstelle erheblich.
Die D-ReX Produktfamilie wurde für diese unterschiedlichen Anforderungen entwickelt. Verschiedene Gerätevarianten ermöglichen die Gasüberwachung direkt am Einsatzort, an entfernten Messstellen oder über eine extraktive Probenahme.
Das Sensorspektrum umfasst zahlreiche in der Halbleiterfertigung relevante Gase, darunter HF, HCl, Cl₂, NH₃, PH₃, AsH₃, B₂H₆ und SiH₄. Für Anwendungen, bei denen das Zielgas vor der Detektion zunächst umgesetzt werden muss, ergänzt der Py-ReX Pyrolyzer das System.
Flexible Lösungen für unterschiedliche Messstellen
Eine zuverlässige Gasüberwachung beginnt mit der richtigen Auslegung der Messstelle. Wo entsteht ein mögliches Leck? Welches Gas soll in welchem Messbereich detektiert werden? Ist eine Messung direkt vor Ort möglich oder wird eine Probenahme benötigt?
Mit unterschiedlichen D-ReX Varianten bietet GfG passende Konzepte für Point-of-Use-, Remote- und extraktive Messungen. Schnittstellen wie Modbus RTU/TCP, 4–20 mA und Power over Ethernet ermöglichen die Integration in unterschiedliche Anlagen- und Systemumgebungen.
Mit unserer Niederlassung in Taiwan unterstützen wir Kunden und Partner zudem direkt vor Ort bei Projekten rund um Gas Monitoring und industrielle Gaswarntechnik.
Besprechen Sie Ihre Anwendung mit unseren Experten
Sie suchen eine Lösung für ein bestimmtes Prozessgas, planen neue Messstellen oder möchten unterschiedliche Detektionskonzepte vergleichen?
Treffen Sie unser Team auf der SEMICON Taiwan und besprechen Sie Ihre Anforderungen – von der Sensorik und Probenahme bis zur Systemintegration.
Veranstaltungsort:
Taipei Nangang Exhibition Center
TaiNEX 1 & 2
Taipei, Taiwan
Hier finden Sie uns:
Stand T9021
Datum und Öffnungszeiten:
2. September 2026 | 10:00–17:00 Uhr
3. September 2026 | 10:00–17:00 Uhr
4. September 2026 | 10:00–16:00 Uhr
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Weitere Veranstaltungen
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